Nâng cao chất lượng hệ điều khiển cho các vi chấp hành làm việc theo nguyên lý điện nhiệt.

Các bộ vi kích hoạt trong lĩnh vực MEMS thường có kích thước nhỏ nhưng quá trình biến đổi năng lượng vẫn tương đối phức tạp, việc đo đạc, xử lý các tín hiệu gặp nhiều khó khăn. Do đó bài toán điều khiển luôn là một thách thức lớn đối với các nhà thiết kế. Trong những năm gần đây, một số phương pháp điều khiển từ cơ bản đến phức tạp như điều khiển PID, điều khiển tối ưu, điều khiển thích nghi và học máy cũng đã được nghiên cứu và áp dụng. Một số nghiên cứu trước đây, các tác giả cũng đã mô hình hoá và thiết kế bộ điều khiển học lặp cho vi kích hoạt điện nhiệt dạng dầm chữ V. Trong nghiên cứu này, tác giả sẽ hoàn thiện mô hình toán học của vi chấp hành thông qua việc xem xét bổ sung các tham số ảnh hưởng; nghiên cứu các phương pháp điều khiển hiện đại khắc phục những khó khăn do ảnh hưởng của chế tạo, đo lường. Phân tích, tính toán kết hợp mô phỏng thử nghiệm các thuật toán điều khiển, khảo sát các đặc tính cơ bản của vi chấp hành.