Tổng quan về vi động cơ trong công nghệ vi cơ điện tử mems

Tác giả: ThS. Nguyễn Tiến Dũng ThS. Đoàn Kim Tuấn

Nhà xuất bản: Hội thảo cấp trường kỷ niệm ngày truyền thống trung tâm thực nghiệm 20/4/1967 - 20/4/2015