"Phát triển vi động cơ quay dẫn động bằng bộ kích hoạt nhiệt dựa trên công nghệ MEMS";
Tác giả: Nguyễn Tiến Dũng, Trần Văn Quân, Phạm Hồng Phúc, Nguyễn Quang Địch
Nhà xuất bản: Hội nghị Cơ học kỹ thuật toàn quốc, Kỷ niệm 35 năm thành lập Viện Cơ học Hà Nội, 09/04.
Bài báo trình bày thiết kế và mô phỏng một mẫu vi động cơ quay sử dụng bộ kích hoạt nhiệt điện dạng chữ V. Vi động cơ có kích thước ngoài 2,5 mm, hoạt động với điện áp dẫn tối thiểu Umin=17,36 V trong dải tần số hàng trăm Hz. Ưu điểm nổi bật của loại vi động cơ này là tiêu thụ năng lượng ít (điện áp dẫn động thấp), hệ thống điều khiển đơn giản, có thể chế tạo hàng loạt dễ dàng dựa trên công nghệ vi cơ khối (Bulk - micromachining)