Electron transport coefficients in TEOS-N2 mixture for using in plasma assisted thin-film deposition

Tác giả: Đỗ Anh Tuấn, Phạm Ngọc Thắng

Nhà xuất bản: Hội thảo cấp trường "Ứng dụng khoa học kỹ thuật cao vào thực tiễn"