Đặc tính của màng mỏng niox phụ thuộc điều kiện phún xạ từ trường xung công suất lớn (hipims)

Tác giả: Nguyễn Đức Tường

Nhà xuất bản: Hội thảo cấp trường kỷ niệm 42 năm ngày truyền thống khoa Điện 30/10/1972 - 30/10/2014